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高純電子氣體
電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目前，我國(guó)電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國(guó)家相比，尚有較大差距。 隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對(duì)電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。隨著近年來(lái)國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，特種氣體行業(yè)新興起來(lái)。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門(mén)類(lèi)，從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類(lèi)。 高純電子氣體是發(fā)展…
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高純氮
純度是氮?dú)獾囊粋€(gè)重要技術(shù)參數(shù)，按國(guó)標(biāo)氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)狻⒓兊透呒兊?jí)，它們的純度分別為99．5％ （O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。魯東氣體十年來(lái)專(zhuān)注高純氣體、混合氣體、特種 氣體、有機(jī)氣體、氣體容器及氣體設(shè)備及配件，研發(fā)，制造，銷(xiāo)售。 氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒?、變壓吸附法、膜分離法等。在 集成電路、 半導(dǎo)體和電真空 器件制造中用作 保護(hù)氣和運(yùn)載氣， 化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?擴(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高…
